Дисертації та автореферати спеціалізованої вченої ради Д 26.062.06
Permanent URI for this collectionhttp://er.nau.edu.ua/handle/NAU/40959
Browse
Browsing Дисертації та автореферати спеціалізованої вченої ради Д 26.062.06 by Author "Закієв, Вадим Ісламович"
Now showing 1 - 1 of 1
- Results Per Page
- Sort Options
Item Прилад безконтактного вимірювання геометричних параметрів поверхні виробів методом інтерферометрії(2018-12-06) Закієв, Вадим ІсламовичДисертаційна робота присвячена розробці автоматизованого інтерференційного профілометра для безконтактного вимірювання мікро- та нанотопографії поверхні, її тривимірного представлення, визначення показників шорсткості та параметрів, що характеризують особливості форми поверхні. Для забезпечення керованого переміщення опорного дзеркала інтерферометра розроблена нова конструкція електромагнітного актюатора еталонного дзеркала з електронною платою керування. Принцип роботи профілометра базується на реєстрації інтенсивності інтерференційних смуг в кожній точці приладу з зарядовим зв’язком при нульовій різниці ходу світлових хвиль в інтерферометрі для відповідного положення рухомого дзеркала. Автоматизація роботи приладу забезпечується спеціально розробленим програмним забезпеченням, що використовується для управління, налаштування, збору, обробки, та збереження даних, а також для фільтрації та тривимірної візуалізації отриманих результатів. Для забезпечення потрібних метрологічних і технічних характеристик розроблено методику автоматичного юстирування приладу. Сутність методики полягає в пошуку кількості кроків рухомого дзеркала, яке необхідне для зміщення інтерференційної картини на половину довжини світлової хвилі. Експериментально підтверджено практичне використання розробленого приладу для вирішення багатьох науково-практичних завдань.